半导体
真空电容器是半导体前道设备核心部件之一，应用在刻蚀、薄膜沉积PVD\CVD\ALD、等离子注入、等离子清洗、去胶等设备的射频电源系统中，用于调节保障射频能量的动态高效传输。
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高精度控制
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可靠性与耐用性
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低损耗特性
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宽温工作范围
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灵活的定制选项
